DN솔루션즈, 반도체 산업용 고정밀 가공기 'DNC 시리즈' 출시

(서울=연합뉴스) 임성호 기자 = DN솔루션즈는 반도체 산업에 필수적인 고정밀 연삭가공기 'DNC 시리즈'(DNC 8050, DNC 8060)를 출시했다고 4일 밝혔다.

이 장비는 반도체 웨이퍼 공정에 쓰는 포커스링 등 소모성 부품을 만들기 위해 설계됐다.

이들 부품 소재는 석영과 세라믹, 실리콘카바이드 등으로 가공이 어려운데 DNC 시리즈는 최대 1만rpm과 7.5㎾의 고출력 스핀들(회전축)을 갖추고 진동을 최소화해 정밀하게 가공할 수 있다고 DN솔루션즈는 설명했다.

또 터닝센터(선반)의 기능을 기반으로 머시닝센터(밀링)의 복합기능을 통합해 한 차례의 셋업으로 내경·외경·홀·윤곽 가공을 한 번에 처리하며 생산성을 높일 수 있다.

DN솔루션즈 관계자는 "DN솔루션즈는 이미 한국 반도체 소재 가공장비 시장의 절반, 일부 공정에서는 80%에 가까운 점유율을 차지하고 있다"며 "이번 DNC 시리즈는 오랜 노하우와 현장 경험을 바탕으로 개발된 제품으로 반도체 장비 국산화와 기술 경쟁력 강화에 큰 역할을 할 것"이라고 말했다.

sh@yna.co.kr