네덜란드 ASM, 화성 동탄에 혁신제조센터 증축

(수원=연합뉴스) 최찬흥 기자 = 세계적 반도체 장비기업인 네덜란드 ASM이 8일 화성 동탄에 혁신제조센터를 증축했다.

ASM은 동탄첨단산업단지 내 기존 시설 옆 7천400㎡ 부지에 1천362억원을 투입해 원자층 증착(ALD) 및 플라즈마 원자층 증착(PEALD) 장비의 혁신 제조시설을 확장했다.

앞서 경기도는 2022년 싱가포르, 미국을 제치고 증액 투자유치에 성공했다.

센터 증축에 따라 장비 연구는 기존 시설의 2배, 제조 기능은 3배로 확대해 국내·외 반도체 기업에 증착장비를 공급할 계획이다.

고영인 경제부지사는 "ASM은 국내 업체들과의 협업을 통해 세계시장에서 플라즈마 증착장비 상용화를 이끌며 국내 반도체 장비 기술을 선도해 온 모범적 투자기업"이라며 "기존 반도체 생산 단지, 인근 소부장 기업과 팹리스 기업들이 연계되면 경기도는 명실상부한 세계적 반도체 메카로 완성될 것"이라고 말했다.

chan@yna.co.kr